クリーンルームの分类とは何ですか?

クリーンルームは通常、製造や科学研究に使用されます。 これは、ほこり、空気中の微生物、エアロゾル粒子、化学蒸気などの汚染物質のレベルが低い管理された環境です。

正確には、クリーンルームの汚染レベルは、指定された粒子サイズの1立方メートルあたりの粒子の数によって指定されます。 典型的な都市環境の屋外周囲空気には、直径0.5ミクロン以上の1立方メートルあたり35,000,000個の粒子が含まれています。これはISO9クリーンルームに対応します。クリーンルーム標準の最低レベルです。

」となります。 クリーンルームの気流の原理

クリーンルームは、層流または乱流の原理を使用するHEPAまたはULPAフィルターを使用して、粒子のない空気を維持します。 層流または単方向気流システムは、一定の気流でろ過された空気を下向きに向けます。 層流気流システムは通常、一定の一方向気流を維持するために100% 天井に使用されます。 層流基準は通常、ポータブルワークステーション (LFエンクロージャー) で指定されており、ISO-4 ISO-1に分類されるクリーンルームでは必須です。

正しいクリーンルーム射出成形設計には、適切な下流の空気の戻りを提供することを含む、空気分配システム全体が含まれます。 垂直フロールームでは、これはエリアの周りに低壁の空気再循環を使用することを意味します。 水平流の用途では、プロセスの下流境界で空気再循環を使用する必要があります。 天井に取り付けられた戻り空気の使用は、正しいクリーンルームシステムの設計と矛盾しています。

を参照してください。 クリーンルーム分類

1.クリーンルームは、空気の清浄度に応じて分類されます

米国連邦基準209 (AからD) では、1立方フィートの空気中の0.5μm以上の粒子の数が測定され、クリーンルームはこの数によって分類されます。 標準の最新の209Eバージョンも、このメトリック命名法を受け入れます。

新しい標準は、国際標準化機構のTC209です。 どちらの基準も、実験室の空気中に見られる粒子の数に基づいてクリーンルームを分類しています。

クリーンルーム分類基準FS209EおよびISO14644-1は、クリーンルームまたはクリーンエリアの清浄度レベルを分類するために、特定の粒子数の測定と計算を必要とします。 英国規格5295は、クリーンルームの分類に使用されます。

2.クリーンルームは、空気の量ごとに許可される粒子の数とサイズに応じて分類されます

「クラス100」や「クラス1000」などの大きな数字はFED_STD-209Eを指し、空気1立方フィートあたり0.5 µ m以上のサイズの粒子の数を示します。 この規格では補間も許可されているため、たとえば「クラス2000」について説明できます。

小さい数は、ISO14644-1規格を指します。これは、空気1立方メートルあたり許容される0.1 µ m以上の粒子数の10進対数を指定します。 したがって、例えば、ISOクラス5のクリーンルームは、1立方メートルあたり最大105 = 100,000個の粒子を有する。

FS 209EとISO14644-1はどちらも、粒子サイズと粒子濃度の間の対数関係を想定しています。 したがって、ゼロ粒子濃度のようなものはありません。 通常の室内空気は約クラス1,000,000またはISO9です。

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